集成电路标准物质方面取得新突破 上海颁发证书

近日，经上海市市场监督管理局审批通过，同济大学国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）（筹）在集成电路标准物质方面取得新突破，三项晶圆级标准物质获得国家二级标准物质证书。

标准物质是用来衡量检测结果是否准确的“尺子”

标准物质是化学、生物等专业领域统一量值、开展量值传递溯源的主要载体，发挥着“测量砝码”的重要作用，是国家重要战略资源。通俗地讲，标准物质就是用来衡量检测结果是否准确的“尺子”。比如食品检测、医院的化验报告、环境监测的数据，这些和我们生活息息相关的检测结果，都是靠标准物质来保证准确。上海市市场监督管理局自2023年率先在全国承接国家二级标准物质审批改革试点以来，通过创新开展涵盖技术能力、原始数据、计量溯源性、生产流程合规性等全要素现场审评，积极发挥专家“技术管家”作用，推动和优化“智能审批服务”“帮办服务”“电子证书同步制发”“证书免费邮寄送达”等举措，让企业感受到上海速度和温度。

要想造得出，必先测得出，要想造得精，必先测得准

集成电路制造是将数以亿计的微小元器件集成在芯片上的制造体系，它不仅是信息产业的基础，也是高端装备能力的重要支撑。我们日常使用的手机、电脑，到汽车、航天装备等关键领域，都离不开它的赋能。随着集成电路制造向先进节点演进，芯片上的结构越来越小，若把集成电路制造比作“在纳米尺度上盖摩天大楼”，那用于校准量检测设备的晶圆级标准物质就是“标尺”，是提升集成电路量检测设备能力、构建产业计量技术体系的重要基础。传统几何量标准物质多基于小尺寸衬底加工，更适用于实验室场景，难以满足集成电路自动化检测需求，因此产业亟需高质量、自主可控的晶圆级标准物质。

以同济大学为主体，联合张江实验室筹建的国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）（筹），在上海市市场监督管理局指导推动下，于2024年起开展建设，是全国集成电路领域首批获批筹建的国家产业计量测试中心之一。围绕集成电路制造中的典型结构与缺陷，重点开展了八英寸晶圆级100 nm一维光栅标准物质、八英寸晶圆级200 nm二维栅格标准物质、八英寸晶圆级100 nm凹陷缺陷标准物质的研制与应用研究。

此次获证的标准物质可为CD-SEM、AFM、缺陷检测设备等集成电路量检测设备提供可靠的量值标准，有效支撑周期测量、角度测量及典型缺陷检测等应用需求。同时该标准物质可以帮助我国量检测设备企业与晶圆制造厂解决“测不准、测不精、测不全”的产业难题，对提升我国集成电路微纳检测设备的计量测试能力、完善产业计量技术体系具有重要支撑意义。

上海持续深化标准物质许可改革 服务新质生产力发展

2023年，上海在全国率先获得国家二级标准物质定级鉴定审批权，在浦东新区和奉贤区试点，颁出全国首张省级市场监管部门审批的国家二级标准物质定级证书。2025年7月，市场监管总局充分肯定上海改革成果，将二级标准物质改革推广复制至上海全域以及内蒙古、湖南和四川部分地区。在新修订的《标准物质管理办法》中明确，二级标准物质的审批权事权由国家市场监管总局下放至省级市场监管部门。

试点以来，上海颁发国家二级标准物质证书41张覆盖标准物质56项。标准物质上市进度加快进一步吸引产业上下游企业加入标准物质研发产业链，推动标准物质研制生产和产业组织方式不断创新，尤其对上海集成电路、生物制造、生命健康、先进材料等先导、重点产业有积极意义。比如灭活基孔肯雅病毒标准物质是国内首个针对该病毒的二级标准物质，为疫情防控提供重要支撑。

赭曲霉毒素纯度标准物质填补了国内行业空白，推进了真菌毒素标准物质国产化进程。紫外、可见光区波长溶液标准物质既可广泛应用于制药、医疗、食品、环保等行业的检测领域，也是国内首个紫外可见全波长检定/校准溶液标准物质。中国仓鼠卵巢（CHO）细胞基因组DNA标准物质有助于提高产业链中DNA残留量检测的准确度，提升抗体药物、重组蛋白药物、疫苗等生物制品生产公司的产品质量，有利于解决生物制品生物安全问题以及国际贸易中的技术壁垒问题。