视频 | 进博时间丨德州仪器成都“造芯” 记者独家探秘

全球电子企业深陷“缺芯”危机，芯片话题搅动全世界。

一“芯”难求之下，第四届进博会在技术装备展区首次设立了“集成电路专区”。集成电路的先驱企业德州仪器，也首次亮相进博会，带来针对新基建、汽车等应用领域的广泛的产品组合以及创新性的技术。

其实，35年前德州仪器就进入了中国，如今已经在中国建立起完整的本土支持体系。第四届进博会召开前夕，看看新闻Knews记者彭晔独家探访了德州仪器成都制造基地。

世界级一体化芯片制造基地长啥样？

这是德州仪器全球唯一的一体化制造基地，占地21万多平米包含四家工厂，覆盖从晶圆制造、封装测试、凸点加工到晶圆测试的全流程。不过，这座世界级制造基地并不是随随便便能进的。记者彭晔首先被要求穿上特制的防尘服，从头到脚包裹得严实。

德州仪器成都制造基地晶圆厂制造主管介绍，此处晶圆厂的制造工艺都是以纳米为单位， 即使一粒小灰尘掉入，也会造成污染。厂房的无尘等级达到一百级，即每立方英尺内只允许不超过一百粒灰尘，相当于医院手术室的无尘等级。

在这里，一片片8英寸的硅晶圆片，分组存放在无尘保护罩内，它们将经历沉积、涂胶、光刻、显影、刻蚀等200多道工序， 20天后才能集成完整的微型电路。随后，一枚带有集成电路的晶圆，被切割为成千上万颗芯片。

造芯片如“烤披萨”

繁琐的工序让记者彭晔想起了做披萨，光洁如镜的硅片好比是白面被压成了面饼，然后得往上面撒上各种各样的材料，再送进烤炉，不，光刻机。

另一位制造主管告诉记者，光刻机好比照相机，通过光罩掩膜，把光罩线路映射到硅晶圆片上，雕刻出精细的集成电路。而光刻机所处的黄光区，如同冲洗胶片的暗房，确保对光源极为敏感的光刻机能正常作业。

类似不同口味的披萨，需要撒上不同的食材和佐料，不同的芯片产品也对应有各种光罩掩膜。这位主管对于自家光罩掩膜之丰富表现自豪，“我们有上万块光罩掩膜，可以根据客户的需求，可以制造出相应的不同的产品。”她说。

一片芯片能有多小？

让记者彭晔大开眼界的还有凸点加工流程。被刻上电路的晶圆，将根据不同的成品要求分流，有的将被送至凸点加工厂，通过先进的工艺植入球状接合物，“缩小”芯片尺寸，以便适应智能手机等小型移动设备。

随着芯片尺寸不断缩小，集成电路线宽进入纳米级。那么，芯片究竟可以有多小？这里的凸点加工厂工程师介绍，每颗芯片可以做到1毫米以下，结合凸点技术，甚至可以在一片12英寸的晶圆上切割出几十万颗芯片，肉眼难见。

德州仪器要在成都制造更多芯片

2010年，德州仪器来到在中国成都高新综合保税区，设立起中国大陆第一家晶圆厂。11年过去后，德州仪器成都制造基地已逐步建成“端到端”全制程协同生产的世界级半导体制造基地。记者看到，这里全天候自动运转，工业机器人穿梭在储存室与作业车间等地点，协助工程师运送各种生产物料。

目前全球芯片产能紧张，中国的供应链被寄予厚望。德州仪器成都制造基地总经理陈泰祥告诉记者，工厂自建成到现在，产能已经翻了好几番。累计有数十亿颗品质芯片，从德州仪器成都工厂走向世界。未来15年，德州仪器将继续在成都新增投资100亿元人民币，全方位扩充产能。“成都这个工厂会持续投资，创新以及发展，确保我们的客户、我们的员工、我们的社区以及合作伙伴一起取得成功。”陈泰祥说。

（看看新闻Knews记者：彭晔 编辑：张庆 杨臻 李瑶 黄涛）