上海最大集成电路产业投资项目首台工艺设备搬入

经过近17个月的努力，今天，上海华力集成电路12英寸先进生产线建设项目迎来重要节点，实现首台工艺设备——光刻机搬入,标志着华力二期从基建阶段进入试生产准备阶段，力争年底前完成生产线串线并实现试流片，届时将达到月产能4万片的芯片能力，为上海集成电路产业助力。

上午9:35分，第一台工艺设备顺利搬入厂房，此次搬入的首台工艺设备为荷兰阿斯麦公司的NXT1980Di光刻机，是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。随着首台工艺设备的搬入，标志着上海最大的集成电路项目正式进入到试生产准备阶段。

未来五个月内，工艺设备将集中搬入，并完成安装调试，年底前完成生产线串线并实现试流片。

华力12英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目，总投资387亿元人民币，将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线，工艺覆盖28-14纳米技术节点。项目计划于2022年底建成达产。项目主要从事逻辑芯片生产，重点服务国内设计企业先进芯片的制造，并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求。

此次首台设备的搬入，为上海市落实《国家集成电路产业发展推进纲要》取得了阶段性胜利，同时对上海建设先进制造业的产业集群高地、打响“上海制造”品牌有着重要意义。

（看看新闻Knews记者：葛孝兰 实习编辑：潘慧娴）